
Hytaý EUV-litografiýa enjamlaryny synagdan geçirmegi başlar
Önümçilik lazer arkaly döredilen plazma (LDP) usulyny ulanýar, bu tradision ASML tehnologiýasyndan tapawutlanýar. Täze çemeleşme enjamyň gurluşyny ýönekeýleşdirýär, energiýa netijeliligini ýokarlandyrýar we önümçilik çykdajylaryny